Katılar içerisinde akış mevcut olmadığı için kütle transferi sadece difüzyon ile meydana gelir. Malzeme mühendisliğinde en önemli kütle taşınım olayları katılarda gerçekleşmektedir. Entegre devre üretiminde silisyumun özelliklerinin empürite atomlarıyla değişitirilmesi için sıklıkla difüzyon kullanılır.